By this author

ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ПО СДВИГУ ПОЛОС ИНТЕРФЕРЕНЦИИ В МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТРЕ ФАБРИ–ПЕРО НА ОСНОВЕ КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНЫ

Issue number 2 from 13.01.2025

Описан волоконно-оптический датчик температуры с чувствительным элементом на основе кремниевого микроинтерферометра Фабри–Перо, температура которого измеряется по сдвигу интерференционных полос вследствие зависимости коэффициента преломления кремния от температуры. Интерферометр Фабри–Перо представляет собой кремниевую пластину размерами 500×500 мкм толщиной 20 мкм, расположенную на торце одномодового волокна. Коэффициент преобразования такого интерферометра равняется примерно 1 нВт/°С при чувствительности порядка 5·10 °С.

20 0