- PII
- S30345642S0032816225020137-1
- DOI
- 10.7868/S3034564225020137
- Publication type
- Article
- Status
- Published
- Authors
- Volume/ Edition
- Volume / Issue number 2
- Pages
- 115-119
- Abstract
- Описывается устройство, представляющее собой ионный инжектор на основе ЭЦР-разряда в коаксиальном резонаторе. Его эффективность обусловлена применением нескольких оригинальных решений: использовано прямое подключение магнетрона к ионному источнику, оригинальная магнитная система имеет конфигурацию с точной настройкой на максимальный ионный ток, кроме того, она минимизирует зону горения у эмиссионного отверстия. Также существенно повышается ионный ток за счет применения керамических вставок в зоне разряда. В устройстве отсутствует стандартный тракт СВЧ, а генератор СВЧ (магнетрон) подключен непосредственно к петле связи коаксиального резонатора. Извлекаемый ток ионов водорода при вкладываемой в разряд СВЧ-мощности около 100 Вт составляет 8.5 мА.
- Keywords
- Date of publication
- 14.10.2024
- Year of publication
- 2024
- Number of purchasers
- 0
- Views
- 26
References
- 1. Kimura T., Okazaki Y. // J. Vac. Sci. Technol. 1996. V. 14. P. 3039. https://doi.org/10.1116/1.580168
- 2. Latrasse L., Radoiu M., Nelis T., Antonin O. // J. Microw. Power Electromagn. Energy. 2017. V. 51. P. 237. https://doi.org/10.1080/08327823.2017.1388338
- 3. Fatkullin R., Bogomolov S., Kuzmenkov K., Efremov A.. // EPJ Web of Conferences. 2018. V. 177. P. 08003. https://doi.org/10.1051/epjconf/201817708003
- 4. Константинов С.Г. // ПТЭ. 2019. № 1. С. 5. https://doi.org/10.1134/S0032816218060241
